Běžně používaný polovodičový tlakový senzor používá jako substrát křemíkový plátek typu N.Za prvé, křemíkový plátek je vyroben do elastického dílu nesoucího napětí s určitou geometrií.V části křemíkové destičky nesoucí napětí jsou vyrobeny čtyři difúzní odpory typu P podél různých směrů krystalů a poté je s těmito čtyřmi odpory vytvořen čtyřramenný Wheatstoneův můstek.Působením vnější síly se změny hodnot odporu stávají elektrickými signály.Tento můstek z pšeničného kamene s tlakovým efektem je srdcem tlakového senzoru, který se obvykle nazývá piezorezistivní můstek (jak je znázorněno na obrázku 1).Charakteristiky piezorezistivního můstku jsou následující: ① hodnoty odporu čtyř ramen můstku jsou stejné (všechny r0);② Piezorezistivní efekt sousedních ramen můstku má stejnou hodnotu a opačný znaménko;③ Teplotní koeficient odporu čtyř ramen můstku je stejný a mají vždy stejnou teplotu.Na Obr.1, R0 je hodnota odporu bez napětí při pokojové teplotě;RT je změna způsobená teplotním koeficientem odporu (α) při změně teploty;Υ Rδ je změna odporu způsobená deformací (ε);Výstupní napětí můstku je u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (můstek zdroje konstantního proudu).

Kde I0 je proud zdroje konstantního proudu a e je napětí zdroje konstantního napětí.Výstupní napětí piezorezistivního můstku je přímo úměrné napětí (ε) a nemá nic společného s RT způsobeným teplotním koeficientem odporu, což značně snižuje teplotní drift snímače.Nejpoužívanějším polovodičovým snímačem tlaku je snímač pro detekci tlaku kapaliny.Jeho hlavní strukturou je pouzdro vyrobené z monokrystalického křemíku (jak je znázorněno na obrázku 2).Membrána je vyrobena do misky a dno misky je část, která nese vnější sílu, a tlakový můstek je vytvořen na dně misky.Prstencový podstavec je vyroben ze stejného křemíkového monokrystalového materiálu a poté je k podstavci připojena membrána.Tento druh tlakového senzoru má výhody vysoké citlivosti, malého objemu a pevnosti a je široce používán v letectví, vesmírné navigaci, automatizačních přístrojích a lékařských přístrojích.