Běžně používaný polovodičový tlakový senzor používá jako substrát křemíkový typ N. Za prvé, křemíkový oplatk je vyroben v elastickou část nesoucí napětí s určitou geometrií. V části ložiska ložiska na stresu jsou vyráběny čtyři difúzní rezistory typu p podél různých krystalových směrů a s těmito čtyřmi rezistory se vytvoří čtyřramenný můstek. Pod působením vnější síly se změny hodnot odporu stávají elektrickými signály. Tento můstek Wheatstone s tlakovým efektem je srdcem tlakového senzoru, který se obvykle nazývá piezorezistivní most (jak je znázorněno na obrázku 1). Charakteristiky piezorezistického mostu jsou následující: ① Hodnoty odporu čtyř ramen mostu jsou stejné (všechny R0); ② Piezorezististický účinek sousedních ramen mostu je stejný v hodnotě a opačném znamení; ③ Koeficient teploty odporu čtyř ramen mostu je stejný a jsou vždy na stejné teplotě. Na obr. 1, R0 je hodnota odporu bez napětí při teplotě místnosti; RT je změna způsobená teplotním koeficientem odporu (α), když se teplota mění; Υ R5 je změna odporu způsobené napětím (ε); Výstupní napětí můstku je u = i0 Δ r5 = i0rg5 (zdrojový most s konstantním proudem).

Kde i0 je konstantní proud zdrojového proudu a E je napětí zdroje konstantního napětí. Výstupní napětí piezorezistického můstku je přímo úměrné kmenu (ε) a nemá nic společného s RT způsobeným teplotním koeficientem odporu, což výrazně snižuje teplotní drift senzoru. Nejrozšířenějším senzorem polovodičového tlaku je senzor pro detekci tlaku tekutin. Jeho hlavní strukturou je tobolka vyrobená z monokrystalického křemíku (jak je znázorněno na obrázku 2). Membrána je vyrobena do šálku a spodní část šálku je část, která nese vnější sílu, a tlakový most je vyroben na dně šálku. Prstencový podstavec je vyroben ze stejného křemíkového monokrystalového materiálu a poté je membrána spojena s podstavcem. Tento druh tlakového senzoru má výhody vysoké citlivosti, malého objemu a pevnosti a byl široce používán v letectví, kosmické navigaci, automatizačních nástrojích a lékařských nástrojích.