Tlakový senzor je jedním z běžnějších senzorů. Tradiční tlakový senzor je hlavně mechanickou strukturou a deformace elastické části ukazuje tlak. Vzhledem k jejich velikosti a hmotnosti však nemohou vyrábět elektřinu.

Vývoj polovodičové technologie také vedl ke vzniku polovodičových tlakových senzorů. Vyznačuje se malou velikostí, lehkou hmotností, vysokou přesností a dobrým výkonem teploty. Zejména s vývojem technologie MEMS se polovodičové senzory vyvíjejí ve směru miniaturizace, nízké spotřeby energie a vysoké spolehlivosti.

Role tlakových senzorů

1. Přímo používané k měření různých tlaků: tlak vzduchu, hydraulický tlak, hydraulický tlak (včetně hydraulického tlaku), odlišný krevní tlak v každodenním životě atd.;

2. Tlakové senzory se používají v automobilech, v některých elitních motocyklech a téměř ve všech motorech s vnitřním spalováním;

3. Hladina kapaliny: Polní zařízení používané pro různé měření hladiny kapaliny jsou hlavně tlakové senzory;

4. Většina elektronických váhových signálů a signálů vážících vozidla pochází z tlakových senzorů.

Tlakové senzory se používají hlavně k řízení a sledování určitých aplikací. V automobilovém průmyslu se tlakové senzory MEMS používají hlavně k měření tlaku paliva, tlaku pneumatik, tlaku airbagu a tlaku potrubí. V biomedicínském poli se tlakové senzory MEMS používají hlavně v diagnostických a detekčních systémech; V leteckém průmyslu se tlakové senzory MEMS používají hlavně k řízení polohy kosmické lodi a kosmické lodi;