Vhodné pro snímač tlaku oleje Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Čtyři tlakové technologie tlakového senzoru

1. Kapacitní

kapacitní snímače tlaku jsou obvykle upřednostňovány velkým počtem profesionálních aplikací OEM. Detekce změn kapacity mezi dvěma povrchy umožňuje těmto senzorům snímat extrémně nízké úrovně tlaku a vakua. V naší typické konfiguraci snímače se kompaktní pouzdro skládá ze dvou blízko sebe umístěných, paralelních a elektricky izolovaných kovových povrchů, z nichž jeden je v podstatě membrána, která se může pod tlakem mírně ohnout. Tyto pevně fixované plochy (nebo desky) jsou namontovány tak, že ohybem sestavy se mění mezera mezi nimi (ve skutečnosti tvoří proměnný kondenzátor). Výsledná změna je detekována citlivým lineárním komparátorovým obvodem s (nebo ASIC), který zesiluje a vydává proporcionální signál vysoké úrovně.

2.CVD typ

Výrobní metoda chemickou depozicí z plynné fáze (nebo "CVD") spojuje polysilikonovou vrstvu s membránou z nerezové oceli na molekulární úrovni, čímž vytváří senzor s vynikajícím dlouhodobým driftovým výkonem. K vytvoření polysilikonových tenzometrických můstků s vynikajícím výkonem za velmi přijatelnou cenu se používají běžné výrobní metody výroby polovodičů po dávkách. Struktura CVD má vynikající cenu a je nejoblíbenějším snímačem v aplikacích OEM.

3. Typ filmu naprašování

Nanášením filmu (neboli „filmu“) lze vytvořit senzor s maximální kombinovanou linearitou, hysterezí a opakovatelností. Přesnost může být až 0,08 % plného rozsahu, zatímco dlouhodobý drift je každý rok jen 0,06 % plného rozsahu. Mimořádný výkon klíčových nástrojů – náš naprašovaný tenkovrstvý senzor je pokladem v průmyslu snímání tlaku.

4. Typ MMS

Tyto senzory používají k detekci změn tlaku membránu z mikroobrobeného křemíku (MMS). Křemíková membrána je izolována od média olejovou náplní 316SS a reagují v sérii s tlakem procesní kapaliny. Senzor MMS využívá běžnou technologii výroby polovodičů, která může dosáhnout vysokého napěťového odporu, dobré linearity, vynikajícího výkonu při tepelném šoku a stability v kompaktním balení senzoru.