Struktura piezorezistického senzoru

V tomto senzoru je rezistorový pás integrován do monokrystalické křemíkové membrány integračním procesem pro výrobu křemíkového piezorestistického čipu a periferie tohoto čipu je fixována ve skořápce a elektrodové vedení jsou vedeny ven. Piezorezistivní tlakový senzor, známý také jako senzor tlaku v pevném stavu, se liší od adhezivního napětí, který musí nepřímo cítit vnější sílu elastickými citlivými prvky, ale přímo cítí naměřený tlak pomocí křemíkové bránice.

Jedna strana křemíkové membrány je vysokotlaká dutina komunikující s měřeným tlakem a druhá strana je nízkotlaká dutina komunikující s atmosférou. Obecně je křemíková membrána navržena jako kruh s pevným periferií a poměr průměru k tloušťce je asi 20 ~ 60. Čtyři proužky rezistence na nečistotu jsou diffikovány lokálně na kruhové křemíkové bránici a spojeny do plného mostu, z nichž dvě jsou v součtovém stresu a v úctě jsou v úctě, které jsou symetrické, s úctou k středu stresové zóny.

Kromě toho existují také čtvercové křemíkové membrány a senzor křemíku. Silikonový válcový senzor je také vyroben z odporových proužků difúzí v určitém směru krystalové roviny křemíkového válce a dva pásky odporu k napětí a dvě kompresivní stresové odolné proužky tvoří plný most.

Piezorezistická senzor je zařízení vyrobené difúzní odporkou na substrátu polovodičového materiálu podle piezorezistického účinku polovodičového materiálu. Jeho substrát lze přímo použít jako měřicí senzor a difúzní odpor je připojen v substrátu ve formě můstku.

Když je substrát deformován vnější silou, hodnoty odporu se změní a most vytvoří odpovídající nevyvážený výstup. Substráty (nebo membrány) používané jako piezorezistické senzory jsou hlavně křemíkové destičky a germaniové oplatky. Silikonové piezorezistické senzory vyrobené z křemíkových destiček, protože citlivé materiály přitahovaly stále více pozornosti, zejména pevné piezorezistické senzory pro měření tlaku a rychlosti jsou nejčastěji používány.