Platí pro snímač tlaku paliva Common Rail Passat 06E906051K

1. Způsob výroby tlakového senzoru, vyznačující se tím, že zahrnuje:

Poskytnutí polovodičového substrátu, kde první mezivrstvová dielektrická vrstva, první mezivrstvová dielektrická vrstva a druhá mezivrstvová dielektrická vrstva jsou vytvořeny na polovodičovém substrátu.

Spodní elektrodová deska v první mezivrstvové dielektrické vrstvě, první vzájemná elektroda umístěná na stejné vrstvě jako spodní elektrodová deska a odsazená od sebe.

Spojovací vrstvy;

Vytvoření obětní vrstvy nad spodní polární deskou;

Vytvoření horní elektrodové desky na první mezivrstvové dielektrické vrstvě, první propojovací vrstvě a obětované vrstvě;

Po vytvoření obětní vrstvy a před vytvořením horní desky v první propojovací vrstvě

Vytvoření spojovací drážky a vyplnění spojovací drážky horní deskou pro elektrické spojení s první propojovací vrstvou; Nebo,

Po vytvoření horní elektrodové desky se v horní elektrodové desce a první propojovací vrstvě vytvoří spojovací drážky, které

Vytvoření vodivé vrstvy spojující horní elektrodovou desku a první propojovací vrstvu ve spojovací drážce;

Po elektrickém spojení horní desky a první propojovací vrstvy se odstraní obětovaná vrstva za účelem vytvoření dutiny.

2. Způsob výroby tlakového senzoru podle nároku 1, vyznačující se tím, že v první vrstvě

Způsob vytvoření obětované vrstvy na mezivrstvové dielektrické vrstvě zahrnuje následující kroky:

Nanesení vrstvy obětního materiálu na první mezivrstvovou dielektrickou vrstvu;

Vzorování vrstvy obětního materiálu pro vytvoření obětní vrstvy.

3. Způsob výroby tlakového senzoru podle nároku 2, vyznačující se tím, že se používá fotolitografie a rytí.

Vrstva obětního materiálu je vzorována procesem leptání.

4. Způsob výroby tlakového senzoru podle nároku 3, vyznačující se tím, že obětovaná vrstva

Materiálem je amorfní uhlík nebo germanium.

5. Způsob výroby tlakového senzoru podle nároku 4, vyznačující se tím, že obětovaná vrstva

Materiál je amorfní uhlík;

Leptací plyny používané v procesu leptání vrstvy obětovaného materiálu zahrnují O2, CO, N2 a Ar;

Parametry v procesu leptání vrstvy obětovaného materiálu jsou: rozsah průtoku O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM a průtok CO je 10 %.

Průtok se pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM, průtok N2 se pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM a průtok Ar.

Rozsah je 90 SCCM ~ 110 SCCM, rozsah tlaku je 90 mtor ~ 110 mtor a předpětí je

540W až 660W.