Použitelné na senzor tlaku Passat Fuel Common Rail 06E906051K

1. Metoda pro vytvoření tlakového senzoru, zahrnující:

Poskytování polovodičového substrátu, kde se na polovodičovém substrátu vytvoří první mezivrstvá dielektrická vrstva, první mezivrstvá dielektrická vrstva a druhá dielektrická vrstva.

Dolní elektrodová deska v první mezivrstvé dielektrické vrstvě, první vzájemná elektroda umístěná na stejné vrstvě jako dolní elektrodová deska a rozmístěná od sebe.

Spojující vrstvy;

Vytvoření obětní vrstvy nad spodní polární deskou;

Vytvoření horní elektrodové desky na první dielektrické vrstvě, první propojovací vrstvu a obětní vrstvu;

Po vytvoření obětní vrstvy a před vytvořením horní desky, v první propojené vrstvě

Vytvoření drážky připojení a vyplnění drážky připojení s horní deskou pro elektricky spojení s první propojovací vrstvou; Nebo,

Po vytvoření horní elektrodové desky se vytvoří spojovací drážky v horní elektrodové desce a první propojené vrstvě, která

Vytvoření vodivé vrstvy spojující horní elektrodovou desku a první propojovací vrstvu ve připojovací drážce;

Po elektrickém připojení horní desky a první propojovací vrstvy odstranění obětní vrstvy za vzniku dutiny.

2. metoda formování tlakového senzoru podle nároku 1, kde v první vrstvě

Metoda formování obětní vrstvy na mezivrstvé dielektrické vrstvě zahrnuje následující kroky:

Uložení vrstvy obětního materiálu na první mezivrstvou dielektrickou vrstvu;

Vzorování vrstvy obětního materiálu za vzniku obětní vrstvy.

3. Metoda formování tlakového senzoru podle nároku 2, kde se používá fotolitografie a gravírování.

Vrstva obětního materiálu je vzorována procesem leptání.

4. Metoda formování tlakového senzoru podle nároku 3, kde obětní vrstva

Materiálem je amorfní uhlík nebo germanium.

5. Metoda pro vytvoření tlakového senzoru podle nároku 4, kde obětní vrstva

Materiál je amorfní uhlík;

Leptání plynů použitých v procesu leptání vrstvy obětního materiálu zahrnují O2, CO, N2 a AR;

Parametry v procesu leptání vrstvy obětního materiálu jsou: Rozsah průtoku O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM a průtok CO je 10%.

Průtok se pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM, průtok N2 se pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM a průtok AR.

Rozsah je 90 SCCM ~ 110 SCCM, rozsah tlaku je 90 mTOR ~ 110 mTOR a síla zkreslení je

540W ～ 660W。