Snímač tlaku motoru 2CP3-68 1946725 pro bagr Carter

1. Způsob přípravy tlakového senzoru, vyznačující se tím, že zahrnuje následující kroky:

SI, poskytující plátek se zadním povrchem a předním povrchem; Vytvoření piezorezistivního proužku a silně dotované kontaktní plochy na předním povrchu destičky; Vytvoření tlakové hluboké dutiny leptáním zadního povrchu destičky;

S2, připojení podpůrné fólie na zadní stranu destičky;

S3, výroba olověných otvorů a kovových drátů na přední straně waferu a připojení piezorezistivních pásků k vytvoření Wheatstoneova můstku;

S4, uložení a vytvoření pasivační vrstvy na předním povrchu plátku a otevření části pasivační vrstvy pro vytvoření oblasti kovové podložky. 2. Způsob výroby tlakového senzoru podle nároku 1, vyznačující se tím, že SI konkrétně zahrnuje následující kroky: S11: vytvoření plátku se zadním povrchem a předním povrchem a definování tloušťky na tlak citlivého filmu na plátku; S12: iontová implantace se používá na předním povrchu destičky, piezorezistivní proužky jsou vyráběny vysokoteplotním difúzním procesem a kontaktní oblasti jsou silně dotovány; S13: uložení a vytvoření ochranné vrstvy na předním povrchu destičky; S14: leptání a vytváření tlakové hluboké dutiny na zadní straně destičky pro vytvoření filmu citlivého na tlak. 3. Způsob výroby tlakového senzoru podle nároku 1, vyznačující se tím, že plátkem je SOI.

V roce 1962 Tufte a kol. poprvé vyrobil piezorezistivní tlakový senzor s difuzními silikonovými piezorezistivními proužky a strukturou silikonového filmu a zahájil výzkum piezorezistivního tlakového senzoru. Koncem šedesátých a začátkem sedmdesátých let se objevily tři technologie, jmenovitě technologie křemíkového anizotropního leptání, technologie iontové implantace a technologie anodického spojování, přinesly velké změny do tlakového senzoru, což hrálo důležitou roli při zlepšování výkonu tlakového senzoru. . Od 80. let 20. století, s dalším rozvojem technologie mikroobrábění, jako je anizotropní leptání, litografie, difúzní doping, iontová implantace, lepení a povlakování, se velikost tlakového senzoru neustále zmenšuje, zlepšuje se citlivost a výstup je vysoký a výkon je vynikající. Vývoj a aplikace nové technologie mikroobrábění zároveň umožňují přesně kontrolovat tloušťku filmu tlakového senzoru.